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“要问的问题实在是太多了,一时不知道该如何下手啊!”专家们叹道,高端光刻机堪称现代光学工业之花,其制造难度之大,全世界只有少数几家公司能够制造。
按照种类可以分为接触式、接近式和投影式多种,而高端的投影式光刻机又可分为步进投影和扫描投影光刻机两种,分辨率通常七纳米至几微米之间,高端光刻机号称世界上最精密的仪器,最先进的光刻机售价都是用亿美元为单位的。
而且受制于欧美国家的技术封锁,中国就算是拿着钱也买不到,就算想尽办法克服困难预定上一两台,往往还是技术落后的产品,而且在交货的过程中还经常会因为莫名其妙的失火等原因延迟或者取消交货。
国内倒是也有厂家在进行光刻机的研发制造,但技术相对阿斯麦等欧美顶尖公司,还有不小的差距,国外已经达到四纳米的加工水平,国内拿出来的最新产品,加工精度才只有二十二纳米而已,完全无法满足需求。
“这份设计图纸所采取的模式和阿斯麦、尼康、佳能的都不一样,和我们现在研发的也不一样,虽然目前看来理论上似乎可行,可要想吃透这种模式就要花相当长的时间!就更不用说生产出样品。”
一台光刻机内部超过了8万个零件,重量为180吨,而光刻机的零件也并非一个国家就全部制作的,因为它们有的是日本的光学技术,有的是德国的机械技术;所以阿斯麦曾经放出话来,就算把设计图纸拿给你们,你们也制造不出来。
因为按照目前的技术水平,想要制造出一台先进的光刻机,就必须使用多个国家最先进的技术产品,阿斯麦的镜头就采用的是德国蔡司的产品;这些欧美企业倒也罢了,中国企业想要购买这些产品,可不是一般的难。
“不管怎么说,这些资料也给我们指明了一条全新的道路,只要能把这些东西吃透,我们就不会被欧美国家卡住脖子了!”或许是知道可控核聚变和昆式战机项目的原因,领导倒是对这份图纸显得信心满满。
“如果能吃透,那我们就能实现光刻机制造的百分百国产化了,我看到这里面所使用的元件也和阿斯麦、尼康、佳能的都不一样,不存在专利障碍的问题,现在要担心的就是我们的精密加工水平能不能达到标准了!”专家点头道,的确,想要按照这份图纸制造出性能优越的光刻机来非常不容易,可有了这份图纸,绝对能少走许多弯路。
“那个零件有疑问,就把疑问写出来,应该能得到满意的答复!”人家连微型可控核聚变反应堆都能制造出来,制造这些零件肯定不是问题,哎,真是可惜了,要是他能像提供微型可控核聚变反应堆的样品一样,也给我们提供一台光刻机的样品就好了。
不知道在邮件里问下他,他会不会答应啊?光刻机就算再先进,想必也没有微型可控核聚变反应堆更难制造吧?领导在心里琢磨着,不过他暂时还不打算把这个意思在邮件里写出来,按照以前的情况来看,如果有的话,人家说不定就直接给了,既然人家没给,那就不要多问的好,免得人家说咱们贪心不足。
几位专家凑到一起商量一番,最终达成一致,“还是先从大的方面来说吧,理论方面我们还有不少疑问呢,理论不搞清楚,细节就更是无从谈起了!”
“专业上面的工作由你们负责,你们先讨论讨论,把最紧要的问题都罗列出来吧!”领导给他们安排了会议室,他们需要什么设备也都送了进来,让他们可以心无旁骛地工作。
经过一天一夜的讨论,这些专家拿出了第一批问题,然后领导把这些问题发给了沈隆,沈隆看过之后略微有些惊讶,“不错啊,既然能提出这样的问题,这说明国家对光刻机的研究已经有了坚实的基础,这样看来,搞不懂第一台样机生产出来的时间比我预想的还要早。”
沈隆双手十指交叉,活动活动手指,然后噼里啪啦就开始打字,一个接一个的回复起这些专家的疑问来,通过这些问题,他也知道了这些专家的水平,在回答问题的时候就知道该讲到什么程度了。
仅仅花了半小时时间,沈隆就把所有问题回答完毕,打字的键盘都已经开始冒烟了,没办法,沈隆打字的速度实在是太快了。
然后仔细检查一番,沈隆就把邮件给他们发了过去,有白泽帮忙遮掩,沈隆压根就不怕有人能顺着邮件找到自己。
那些专家提完问题就去睡觉去了,在他们看来自己罗列出来的这些问题回复难度极大,就算对方非常熟悉这一领域,也得好几天时间才能回答完毕,然而没想到的是,才过了不到一个小时,对方的回复就过来了。
原本忙了一天一夜已经很疲倦了,可一看到这份邮件,他们马上就不困了,纷纷围在电脑前,一字一句地研究着回复,嘴里是不是发出惊叹,“原来是这样,我怎么就没想到呢,还能用这样的办法来解决?”
“这个结论很有新意啊,不管是阿斯麦还是尼康,都没有涉足这一领域,这回可以抢在他们前面了!”
“懂了懂了,采取这种方式,的确可以大大提升良品率,这可比阿斯麦的最新产品还要厉害啊!”
“这种紫外光源的确更加稳定,能量分布更加均匀,而且容错率更高,对生产操作的要求更低,真是厉害啊。”
就这样,专家们日以继夜的研究着邮件,研究之后一边进行试验一边提出新的问题,而沈隆这边则和之前一样,以每星期一封邮件的速度和他们交流着。
大概来回发了三次邮件,沈隆的脑海里再次响起了系统的提示音,又有新的任务找上他了。
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