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第一百零三章
顾律的眉头轻轻皱起。
据他所知,这种米国新型的型抛光机,抛光精度,应该能达到0.1纳米左右。
而据黄师傅所说,他们通过这台设备,抛光后得到的硅晶片,精度最高的一次才为1.06纳米。
两者差了十倍。
这个数据不对,很不对!
一定是哪个环节出了问题。
硅晶片,准确的来说是属于材料学领域。
但各学科之间是相互关联的。
顾律在钻研物理学中的半导体物理的时候,不仅研究了硅晶片中原子状态和电子状态以及各器件内部电子过程,还对硅晶片的整个制作流程,查阅了相当多的专业书籍和文献。
否则,他也不会在郭院士面前,大包大揽的承接下此事。
只不过,面前的情况,确实让顾律有些想不通。
要么,就是设备本身有问题,海跃公司从米国进口来的这批设备是假货!
但这几率不大。
要么,就是在操作过程中,在哪个环节出了纰漏。
顾律曾在一本书中,看到过型抛光机的结构图纸。
顾律把眼前的设备和记忆中图纸上所描述的结构对比了一下,发现完全是吻合的。
那应该就不是买到假货了。
顾律起身,拍拍手上的尘土,对黄师傅笑着开口,“黄师傅,实际上机操作一下吧,我看一下效果。”
黄师傅点点头,几分钟后拿着一块未经过抛光处理硅晶片回来。
跟着黄师傅回来的,还有几位穿着工作服的年轻员工。
好奇的目光,打量着张经理身旁身姿挺拔的顾律。
“黄师傅,开始吧。”在几人的注视下,顾律泰然自若,目光望向黄师傅。
抛光机的操作很简单。
插上电源,将硅晶片摆放在相应的夹具上,最后加入抛光液。
按下红色按钮,启动机器。
抛光机开始工作起来。
顾律就围着这台抛光机,全方位的观察。
周围的众人全部屏住呼吸,静静的等待着。
于是乎,这片区域内,除了机器转动的声音外,只剩下顾律在地面上踱步的声音。
时间在一点点流逝。
这种新型的抛光机,抛光时间是三十分钟。
“不应该啊!”顾律摸着下巴,喃喃一声。
眼前发生的事情,确实触及到他的知识盲区了。
黄师傅放置的硅晶片位置,虽然在一定程度上,导致在抛光过程中切削深度的增加,但也不至于,精度会比预计的数值增加十倍。
机器的工作过程,顾律全程看下来了,也并没有发现什么异常。
按理说,十倍的精度差,不可能出现才对。
难道今天要翻车了?
在抛光时间快要结束的时候,顾律目光瞥了一眼黄师傅背后,接着视线紧紧锁住那个蓝色的塑料液体瓶。
对了,抛光液!
顾律脑中灵光一闪,瞬间明白问题的关键所在。
在抛光过程中,除了抛光机以及被抛光的物件,用来进行辅助抛光作用的抛光液,也能极大的影响被抛光物件的精度。
往往,不同型号的抛光机,不同被抛光的物件,最适宜使用的抛光液是不同的。
“你们用的是哪种抛光液?”顾律沉声问道。
“呃……”黄师傅愣了一下,随口回答,“我们现在使用的纳米三氧化二铝粉末抛光液。”
林经理一脸紧张的看向顾律,“顾先生,有什么问题吗?”
有问题,问题大了!
纳米三氧化二铝粉末当做磨料,加入型抛光机,进行单硅晶片的精密抛光,本身就是极为不智的一种举动。
因为三氧化二铝这个东西,实在是太硬了啊!
即便是纳米级别的三氧化二铝粉末,硬度也不会减少。在抛光过程中,肯定会对硅晶片造成损伤。
另一方面,根据公式,MRR=ρwNV。
抛光磨料硬度越高,对应的切削深度越大,塑性磨削作用越弱。
他想,他已经知道,为什么使用新设备抛光后的硅晶片,在精度方面一直达不到要求了。
“抛光液用错了。”顾律眼神的平淡的看了张经理一眼,开口说道。
“难道不是用三氧化二铝粉末抛光液吗,我之前在国营大厂里,一直都是用的这个。”说话的是黄师傅。
顾律笑着开口解释,“对于那些精度不高的硅晶片,使用纳米三氧化二铝粉末当然没问题,因为制备简单,成本还低,但对于高精度抛光机,这种高硬度的抛光磨料,就明显不适用了。”
“那顾先生,我们应该用哪种,当做纳米磨料?”张经理问。
“二氧化铈。”顾律请吐出四个字。
“二氧化铈?”张经理眉头皱起。
“你们这没有这种抛光液?”顾律问。
“呃……没有。”林经理老老实实的回答。
老实说,这种抛光液,在国内都不常见。
“那你们这瓶三氧化二铝抛光液,是从外面买过来的,还是自己制备的?”顾律接着问。
林经理开口,“我们自己做的,我们有一条专门的生产线。”
他们海跃公司,除了售卖一些半导体材料外,抛光液也是他们的产品之一,不过货量不大。
除了自产自销的一些外,没多少流入市场上。
顾律倒是不意外。
抛光液这东西生产起来不复杂,搭建一条生产线很简单。
“带我过去看看吧,我试试能不能制作出来二氧化铈抛光液。”顾律看向张经理,缓缓开口。
张经理愣了一下,“您……亲自制作?”
顾律耸耸肩,轻松的语气,“没必要那么大惊小乍,这东西没什么技术含量,只要材料有,稍微有点化学常识的人都会弄。”
“走吧,带我去看看。”顾律挑挑眉。
“那这边……”林经理指着快要结束抛光过程的设备,犹豫的开口。
“不用再继续看了,反正结果肯定和你们之前得到的一样。没必要浪费时间。”
“好吧,那顾先生,这边请。”
抛光液生产线放在了工厂那栋五层小楼的顶楼。
走进房间,可以看到两名员工在里面忙碌的工作着。
顾律来到实验台,看了一眼桌上瓶瓶罐罐拜访的那一堆化学试剂,然后扫了一眼整个房间内的大致设备,淡淡笑了笑。
“运气还不错,制备二氧化铈的材料和设备基本都有,接下来,交给我就好了。”
………………
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